真空系統出廠時已經包括了抽速控制、進氣過濾、主要運行數據顯示、運行保護及遠程控制接口等。只要在現場進行簡單的連接電源和管道，就可以組成一個完整的真空系統。該真空系統的控制系統由PLC控制系統經過編程后組成，以觸摸屏為人機界面，實現對真空系統、工件行走、磁控靶、工藝設定和執行、報警保護系統等的全自動化控制。
　　1.在被抽器件或工作中房間內得到需要的真空泵和工作中真空度。
　　真空度就是指器件在無漏放氣時所做到的真空度，工作中真空度就是指在器件開展真空泵解決時能夠保持的真空度。真空泵解決時通常要釋放很多汽體，這時候的工作中真空度將明顯地小于真空度。
　　2.為獲得某一工作中真空度需要的時間
　　這時間取決于真空系統抽速的尺寸。提升抽速可減少這一時間。大的個人工作室顯而易見要大的抽速。有時候個人工作室盡管并不大，但因為漏放氣比較嚴重，則真空系統也要大的抽速，不然很多的漏放氣將大幅度降低真空度，使系統軟件沒法工作中。
　　3.在被抽器件或工作中房間內有適合的殘氣成份
　　單純性提升和保障真空度及工作中真空度是不夠的，還解決殘留汽體成分有規定。比如真空泵拍攝器件，規定器件內的殘留汽體的氧氣含量應不高于10-2Pa耐髙壓的真空開關管中，應不帶有氮氧化合物分子結構這些。真空系統的殘氣成分，如系統軟件中無其他氣動閥門，則關鍵在于泵的特點。